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제덱스, 나노급 공정 대응 정밀 검사장치 출시

반도체 파티클 제어 전문기업 제덱스가 반도체 공정 핵심 부품의 파티클을 정밀 검사하는 장치를 개발했다.

제덱스는 정전척과 스퍼터링 타겟, FOUP 등 공정 핵심 부품을 분석하는 검사 시스템 'M802ESC'를 출시했다고 19일 밝혔다.

M802ESC는 기존 M2000ESC의 차세대 모델이다.

나노급 초미세 공정에 대응하기 위해 개발됐다.

그동안 정밀 파티클 검사가 어려웠던 부품까지 평가할 수 있다는 게 회사 측 설명이다.

이번 제품은 그동안 대형·고중량 구조와 표면 정밀도 문제로 인해 기존 방식으...
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