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램리서치, 극저온 식각 기술 '램 크라이오 3.0' 공개...프로파일 편차 0.1%↓

램리서치가 1일 3세대 극저온 유전체 식각 기술인 '램 크라이오 3.0'을 공개했다.

회사측에 따르면 램 크라이오 3.0은 첨단 3D 낸드의 수율과 전반적 성능 개선을 지원해 AI 반도체 제조사 생산 경쟁력을 높이는데 최적화됐다.

기존 3D 낸드 스케일링은 주로 메모리 셀을 수직으로 적층하는 방식이었다.

이 때문에 깊고 좁게 파는 고종횡비 메모리 채널 식각 기술이 사용됐다.

이 과정에서 원자 수준의 미세한 편차가 발생하면 소자 전기적 특성 및 수율 저하가 발생했다.

램 크라이오 3.0 기술은 극저온 공정 온도...
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