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ACM ‘울트라 C 타호’, 멀티 프로세스 습식 공정 플랫폼으로 확장

웨이퍼 및 패널 처리 솔루션 전문 기업인 ACM리서치는 ‘울트라 C 타호’ 세정 시스템을 멀티 프로세스 습식 공정 플랫폼으로 확장했다고 발표했다.

이번 확장을 통해 ‘울트라 C 타호’ 시스템은 로직 및 메모리 반도체 제조를 위한 더욱 광범위한 첨단 습식 공정 애플리케이션을 지원할 수 있게 됐다.

새롭게 확장된 플랫폼은 이미 여러 주요 반도체 제조회사에 채택되어, 첨단 반도체 제조를 위한 양산 적합성, 다용성 및 확장성을 입증했다.

ACM 고유의 하이브리드 습식 공정 기술을 기반으로 하는 ‘울트라 C 타호’ 플랫...
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