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러시아, 독자 EUV 노광장치 개발 나서…ASML 의존 줄인다

러시아가 네덜란드 반도체 장비 기업 ASML이 독점하고 있는 EUV 노광장치 개발에 도전장을 내밀었다.

지난 21일 온라인 매체 기가진에 따르면 러시아는 ASML과 다른 구조의 독자적인 EUV 노광기를 개발하겠다는 계획을 세웠다.

이를 위해 반도체 제조 툴의 전면적인 교체도 필요하다고 한다.

ASML의 EUV 노광 장비는 13.5nm의 파장을 조사할 수 있지만, 러시아는 11.2nm라는 더 짧은 파장을 목표로 하고 있다.

이를 통해 제조 비용과 운영 비용을 절감할 수 있을 것으로 기대된다.

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