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하이비젼시스템, 웨이퍼 고속 촬영 시스템 특허권 취득

하이비젼시스템이 신규 특허권을 취득했다고 4일 공시했다.

이번에 취득한 특허는 웨이퍼 고속 촬영 시스템으로, 웨이퍼가 기울어진 상태에서도 위치 차이를 간단하고 쉽게 측정하고 연산할 수 있는 기술이다.

이 기술은 웨이퍼의 기울어진 정도에 따라 초점 거리를 변경하며 촬영함으로써 고품질의 웨이퍼 영상을 획득할 수 있게 해준다.

웨이퍼 고속 촬영 시스템에는 수평 위치별 포커스 값을 측정하는 포커스 측정부, 포커스 값을 이용해 웨이퍼의 평면 방정식을 계산하고 수평 위치별 포커스 보정값을 계산하는 제어부가 있다.

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