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GIST, 열처리만으로 고해상도 EUV 패터닝 기술 구현

광주과학기술원 화학과 홍석원 교수팀이 단순 열처리 공정만으로 고해상도 EUV 패터닝을 구현했다.

GIST 화학과 홍석원 교수 연구팀은 포항가속기연구소 황찬국 박사 연구팀과 공동으로 나노 미세 집적회로 제작을 위한 극자외선 반응 포토레지스트를 개발했다고 17일 밝혔다.

극자외선 리소그래피는 13.5나노미터 파장의 빛으로 실리콘 웨이퍼에 초미세 회로 패턴을 새기는 최첨단 반도체 제조 기술이다.

연구팀은 PAL 10D 빔라인의 EUV를 활용해 친환경 열기반 건식공정법으로 나노 패턴을...
롯데케미칼이 주가수익스왑 계약으로 6500억원의 추가 자금을 조달했다.롯데케미칼은 인도네시아 자회사 LCI 지분을 활용한 주가수익스왑 계약을 통해 6500억원 규모의 자금을 추가로 조달한다고 6일 밝혔다. 이번 조달 자금은 차입금 상환을 통한 재무구조 개선에 사용될 예정이다.LCI는 2016년 인도네시아 내 에틸렌 100만 톤 규모의 석유화학공장 건설을 위해 설립된 회사다. 해당 법인은 올해 상업 생산을 계획하고 있다. 롯데케미칼은 보유 중인
대화형 인공지능 에이전트 ‘젠투’ 개발사 와들은 오는 13일 오후 2시 ‘커머스 산업에서 AX 전략과 AI 에이전트를 활용한 고객 경험 혁신’을 주제로 웨비나를 개최한다.이번 웨비나에서 와들은 ▲2025년 AI 에이전트 산업 트렌드 ▲AI 에이전트가 커머스 구매 여정에 미치는 영향 ▲커머스 플랫폼·쇼핑몰 AX 성공 사례 등을 발표할 예정이다. 조용원 와들 CSO가 웨비나 연사로 나서 ‘아마존’, ‘이케아’, ‘캐스퍼’ 등 국내외 커머스 선도 기업
다쏘시스템은 개별 환자 또는 환자 집단에 맞춤화 할 수 있는 리빙 하트 모델을 평가하기 위한 베타 테스트를 진행 중이라고 6일 밝혔다. 리빙하트는 심장을 디지털 3D로 구현한 프로젝트다. 회사 측에 따르면 이번 테스트는 의료 기기 연구 개발을 간소화하고, 새로운 치료법 테스트 및 규제 승인을 가속화할 수 있도록 구성 및 자동화를 제공하는 것이 골자다. 리빙 하트 프로젝트 구성원들은 버튼 하나로 조직 특성, 구조적 변화 및 기타 측면을 조정할 수 있는 맞춤화 된 모델 생성 테스트를
서비스형 비디오 테크놀로지 기업 카테노이드는 미디어 자산 관리 플랫폼 ‘룸엑스’로 KBS 재난감시 CCTV 시스템 운영 사업을 수행한다고 6일 밝혔다.KBS 재난감시 CCTV 시스템 운영 사업은 국토교통부, 경찰청, 기상청을 비롯한 국내 행정기관 및 지자체를 연계한 재난 CCTV 시스템을 공공 클라우드 기반으로 전환 및 구축하는 것이 골자.카테노이드는 룸엑스 기반 KBS 재난감시 CCTV 시스템을 기상청 API와 연동, 재난
가상자산 대장주 비트코인이 8만달러 초반대까지 하락하며 힘을 못 쓰고 있는 가운데, 미국 달러 약세가 BTC 가격 상승을 촉발할 수 있다는 분석이 나왔다. 그러나 일부 지표가 단기 위험 요인으로 떠오르고 있다.10일 블록체인 매체 코인텔레그래프에 따르면 금융서비스 기업 리얼 비전의 암호화폐 분석가 제이미 쿠츠는 "달러 가치가 하락하면서 비트코인 강세 신호가 나타나고 있지만, 미국 국채 변동성과 회사채 스프레드가
파산한 암호화폐 거래소 마운트곡스가 약 10억 달러 상당의 비트코인을 미확인 주소로 이체했다. 이는 거래소의 첫 대규모 이동이라고 5일 블록체인 매체 더 블록이 전했다. 아캄인텔리전스 데이터에 따르면 이날 '1Mo1…9gR9'라는 주소는 마운트곡스의 '1PuQB' 지갑에서 약 10억7000만달러에 해당하는 1만1834 BTC를 받았다. 이후 마운트곡스는 몇 분 만에 166.5 BTC, 약 1512만달러를 콜드 월렛 '1Jbez'로 전송했다.마운트곡스는 2010년에 설립되어
광주 서구의회는 12일 헌법재판소는 윤석열 파면을 신속히 이행할 것을 촉구하고 나섰다. 서구의회는 "2024년 12월 3일 내란의 밤이 끝나지 않고 있다"며 "...
부산대 총장을 지낸 진보성향 차정인 예비후보가 사퇴하면서 부산교육감 재선거 구도가 재편되고 있다. 차정인 예비후보가...
임철규 도의원이 12일 열린 제421회 임시회 2차 본회의 도정질문에서 삼천포항 활성화를 비롯한 무형유산 전승교육 지원 확대를 위한 도립국악원
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파키스탄 남서부에서 무장 반군이 열차를 납치한 뒤 승객 수백명을 인질로 잡고 군과 대치 중인 것으로 파악됐다.12일 파키스탄 일간 돈 등에 따르면 전날 파키스탄 발루치스탄주 퀘타에서 출발해 카이버 파크툰크와주 페샤와르로 향하던 열차가 퀘타에서 약 160㎞ 떨어진 마슈카프 터널에서 무장반군의 공격을 받았다.총 9량으로 구성된 이 열차에는 승객 약 500명이 타고 있었다.구출에 나선 정부군은 총격전 끝에 150여명을 구출했지만 여전히 300명 가까운 사람들이 인질로 잡혀 있는 것으로 알려졌다.이번 납치 사건의 주동
소방공무원 올해 1927명 채용…전년보다 244명 더 뽑는다 소방청은 '2025년 소방공무원 채용시험 시행계획'을 119고시 누리집에 공고했다.올해 채용예정인원은 1927명으로 전년 대비 244명 늘었으며, 자격·학력·경력에 제한이 없는 공개경쟁채용은 906명, 경력경쟁채용은 1021명이다.경력경쟁채용은 16개 분야로 구급 699명, 구조 201명, 소방관련학과 67명, 정보통신 8명, 심리상담 7명, 기타 39명이다.원서접수는
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제주시 화북2지구 아파트에 그린수소로 온수와 난방 공급을 추진하면서 귀추가 주목된다.제주특별자치도는 탄소중립과 제로에너지건축물 보급 일환으로 ‘그린수소 화북2지구 아파트’를 조성한다고 12일 밝혔다.앞서 울산시는 지난해 10월 산업단지에서 나오는 공업용 수소로 전기를 생산해 한전에 판매하고, 여기서 발생한 폐열은 율동지구 아파트에 온수 및 난방으로 공급해 온실가스 배출이 없는 ‘수소 아파트’를 건립했다.도는 현재 구좌읍 행원리 3.3㎿ 풍력발전단지에서 하루 1톤의 그린수소를 생산 중이며, 연말에는 조천읍
문음미 기자 = 나주소방서가 전라남도 소방본부에서 주최한 ‘소방안전강사 경진대회’에서 전남 22개 소방관서 중 최우수상을 수상하는
OK캐쉬백 오퀴즈에서 "삐아 지그재그"관련 퀴즈를 제시했다.수요일인 3월 12일 오후 8시경 제시된 '삐아 지그재그'관련 문제는 "삐아 지그재그 오퀴즈 3/12
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군이 포천지역 민가 오폭 사고에 앞서 주민들에게 '연습탄' 사용을 안내했다가 실제론 '실탄'을 발사한 일이 벌어진 이유도 결국 실수였다. 좌표를 잘못 입력해 민가에 포탄을 투하한 것도 모자라, 주민 안전을 위해 제공한 사전 안내문도 거짓 정보였다. 게다가 육군과 공군 모두 제대로 된
창원시청 광장에 모인 경남도민들이 헌법재판소의 대통령 탄핵 선고가 늦어지고 있다며 신속한 파면을 촉구했다.'윤석열 즉각퇴진 사회대개혁 경남비상행동'이 12일 오후 6시 30분 창원시청 광장에서 윤석열 파면 촉구 집회를 열었다. 이날 집회에는 300명이 참석했다.이날 집회에 참가한 엄진
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작년 육아휴직자 13.2만명 '역대 최고'…남성 사용률 30% 첫 돌파
지난해 국내 육아휴직자가 13만 명을 돌파해 역대 최고를 기록했다. 육아휴직자 중 남성 비율도 처음으로 30%를 넘어서, 남성 육아휴직이 정착하는 모습이다. 고용노동부는 2024년 출산휴가, 육아휴직 등 일·육아지원 혜택을 받은 수급자가 25만 6771명을 기록했다고 23일 밝혔다. 이는 전년 대비 1만 7242명 늘어난 규모다. 지난해 육아휴직자는 13만 2535명으로, 2023년 12만 6008명 대비 6527명 증가했다. 출생아 감소 추세로 2023년 다소 줄었던 육아휴직자는 정부의 일·가정 양립 제도 확대에 힘입어 지난해 다
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[경기교육소식] ‘화성오산교육지원청, 학교 안전시설 점검 나서’ 등
□ 화성오산교육지원청, 신설학교서 현장 점검 실시 경기 화성오산교육지원청은 6일 화성시 봉담지역의 신설학교 2곳에서 학생 안전을 위한 안전점검을 실시했다. 이날 김인숙 교육장 등 화성오산교육지원청 관계자들은 이달 개교한 화담중학교 및 화담고등학교를 방문해 △학교 교육과정 운영을 위한 학습 환경 및 교직원 구성 사항 △학교 내·외부 안전 관련 시설물 설
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문화부 게임 컴플렉스 설립 추진한다
정부가 앞으로 게임 컴플렉스 설립 및 AI 활용 게임 지원 사업에 역량을 집중할 계획이다.문화체육관광부는 6일 향후 10년간의 문화 정책 중장기 방향 및 정책 과제 등을 담은 중장기 프로젝트 '문화한국 2035' 를 통해 이같이 밝혔다.문화부는 이날 '문화한국 2035'에서 글로벌 복합 위기 확산 및 사회갈등 심화, 공동체 해체, 사회위기 요인 등이 종합적으로 작동하고 있고, 이와 동시에 산업과 사회 전반에 걸쳐 대전환을 가져오게 될 인공지능 시대가 급도래하고 있다고 지적했다.이에 따라 시대적 요구에 부응하는 새로운 문화 정책 틀을
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대통령 탄핵 '인용해야' 56%, '기각해야' 37%
헌법재판소의 대통령 탄핵 심판 선고가 임박한 가운데 헌재의 결정에 국민의 관심이 집중되고 있다. 헌재가 국회의 탄핵을 인용해 파면할 것이라는 전망이 60%를 웃도는 것으로 나타났다.그러나 현직 대통령의 파면 여부를 결정하는 헌재의 탄핵 심판 과정에 대해 국민 10명 가운데 4명은 공정하지 않다고 여기고 있어 헌재가 어떤 결정을 내리든 후폭풍이 거세질 전망이다.만일 대통령선거가 올해 치러질 경우 여야의 박빙 승부가 벌어질 걸로 예측된다. 조기 대선을 가정했을 때 정당 기준 대선 후보 지지도가 이러한
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서귀포시체육회, 회원단체 보조금 지원
서귀포시체육회는 회원단체를 대상으로 2025년 포괄보조금 1차 지원 신청을 받는다고 6일 밝혔다.지원 규모는 회원단체 각종 대회 지원, 생활체육 육성 및 각종 스포츠대회 참가 지원, 종목단체 활성화 사업, 읍·면·동 체육 활성화 사업 등 4개 사업에 총 9억1850만원이다.서귀포시체육회는 대상 사업별 공모절차를 통해 사전심사 및 선정심의위원회 심사를 거쳐 지원액을 결정할 계획이다.지원 신청은 오는 11일 오후 6시까지다. 방문, 우편, 이메일을 통해
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광주 서구의회는 12일 헌법재판소는 윤석열 파면을 신속히 이행할 것을 촉구하고 나섰다. 서구의회는 "2024년 12월 3일 내란의 밤이 끝나지 않고 있다"며 "...
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오경훈 진주시의원 “경남인재개발원 이전 강력히 반대”
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오경훈 진주시의원이 12일 경상남도인재개발원의 이전 가능성에 대응한 체계적인 전략을 철저히 마련해 지역사회에 미칠 부정적인 영향을 미연에 막아내는 데 진주시가 나서야 한다고 ...
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광주광역시, '봄 개학기' 어린이 안전 합동 캠페인
광주광역시는 5개 자치구, 시교육청, 경찰청, 민간단체 등과 함께 12일 초등학교 20곳에서 봄 개학기 '어린이 안전 합동 캠페인'을 펼쳤다. 이날 캠페인은 고...
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민주당 담양군수 후보 이재종 "당 차원의 강력한 지원 이끌어 낼 것"
이재종 더불어민주당 담양군수 후보가 민주당 담앙군관광산업발전특별위원회 위원장과 정책위원회 상임부의장으로 임명 후 첫 행보로 군의원 정책간담회를 열었다. 이재종 후보는 12일 박은서·박준엽·최용만·장명엽 등 담양군의원들과 정책간담회를 열었다. 이날 간담회에서는 농업·관광 조화 정책, 청년층을 위한 주거·일자리 지원, 소상공인 보호 대책, 생활 인프라
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소방안전교육의 새 기준! 나주소방서, 소방안전강사 경진대회 최우수상 쾌거!
문음미 기자 = 나주소방서가 전라남도 소방본부에서 주최한 ‘소방안전강사 경진대회’에서 전남 22개 소방관서 중 최우수상을 수상하는