IBM-램리서치,협력 확대...1나노 이하 반도체 공정 개발 본격화
IBM과 램리서치가 5년 협력 계약을 맺고 1나노미터 이하 반도체 개발에 나선다.
양사 협력은 신소재 개발, 제조 공정 혁신, 하이-엔에이 EUV 리소그래피 기술을 확보, IBM 로직 확장 로드맵을 앞당기는데 초점이 맞춰져 있다.
양사는 뉴욕 크리에이츠 올버니 나노텍 콤플렉스 내 IBM 연구 시설과 램리서치 공정 장비를 함께 활용한다.
램리서치는 드라이 레지스트 기술, 식각 플랫폼, 증착 시스템을 투입한다.
양사는 이번 협력을 통해 하이-NA EUV 리소그래피 공정 고도화와 복잡한 소자 구조 대...
양사 협력은 신소재 개발, 제조 공정 혁신, 하이-엔에이 EUV 리소그래피 기술을 확보, IBM 로직 확장 로드맵을 앞당기는데 초점이 맞춰져 있다.
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램리서치는 드라이 레지스트 기술, 식각 플랫폼, 증착 시스템을 투입한다.
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