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에스앤에스텍, EUV 블랭크마스크 국산화 본격 추진

블랭크마스크 전문 기업 에스앤에스텍이 경기도 용인 반도체 클러스터에 EUV 전용 센터를 준공했다고 15일 밝혔다.

회사는 약 1000억원을 투자해 연면적 1만809㎡ 규모의 생산 시설을 완성했다.

이번 센터 구축으로 일본 기업이 독점해온 EUV 제품의 국산화를 본격화한다는 계획이다.

2021년 7월 착공한 이 센터는 지하 1층부터 지상 5층까지 총 6개 층으로 구성됐다.

센터 내부에는 EUV 블랭크마스크와 펠리클 생산을 위한 전용 설비가 구축됐다.

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