ACM 리서치가 차세대 반도체 공정용 원자층 증착 장비 인증을 완료하고 양산을 시작했다고 12일 밝혔다. 회사는 중국 현지 주요 반도체 제조사 두 곳으로부터 각각 플라즈마 강화 ALD와 열 ALD 장비에 대한 공정 적격성 인증을 획득했다.이번에 인증받은 두 장비는 300mm 웨이퍼를 100개 이상 배치 처리할 수 있는 6-조 시스템을 갖췄다. 로딩 영역의 산소 농도를 제어하는 4개의 로드포트 시스템과 통합 가스 공급 시스템, in-situ 건식 세정 기능을 포함했다. 해당 시스템은
POSTECH 기계공학과 안지환 교수, 김형준 박사 연구팀은 미국 캘리포니아 주립대 머세드캠퍼스 기계공학과 이민환 교수팀, 중앙대 융합공학부 박해선 교수팀과 협력하여 최신 반도체 공정인 원자층 공정을 활용, 수소 생산의 효율을 높이면서도 고온에서 안정한 연료극 촉매 소재를 개발했다. 이번 연구는 에너지 및 환경공학 국제 학술지인 ‘응용 촉매 B: 환경과 에너지‘ 온라인판에 게재됐다.
청정 에너지 수소는 연소 시 이산화탄소를 배출하지 않아 환경에 무해하고, 전력 변환 시 에너지 효율도 높다. 특히 그린 수소는 재생에너지를 기반으로
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